案例分享第六期-钽酸锂晶圆切割实例_钽酸锂晶圆切割:成功案例分享
2024-09-15钽酸锂晶圆切割实例 背景介绍 钽酸锂晶圆是一种重要的光电材料,广泛应用于光学器件、红外探测器等领域。由于其硬度高、脆性大,晶圆的切割一直是制约其应用的难点之一。本文将分享一家企业在钽酸锂晶圆切割方面的成功案例。 问题描述 该企业在生产钽酸锂晶圆时,发现传统的切割方法存在以下问题: 1. 切割效率低,无法满足大批量生产需求; 2. 切割表面粗糙,需要进行后续研磨处理,增加了生产成本; 3. 切割过程中易出现晶圆破裂、裂纹等问题,导致废品率高。 解决方案 为了解决以上问题,该企业采用了新型的钽酸锂