8英寸Sic的研究进程GaN2、8英寸Sic芯片上GaN2材料研究进程分析
2024-10-291. 介绍 8英寸Sic芯片是一种新型半导体材料,具有高温、高压、高频等特性,被广泛应用于电力电子、光电子、微电子等领域。而GaN2是一种新型的半导体材料,具有高电子迁移率、高饱和漏电流密度等特性,被认为是未来半导体材料的发展方向。研究8英寸Sic芯片上GaN2材料的制备和性能具有重要的意义。 2. 制备方法 制备8英寸Sic芯片上GaN2材料的方法主要有物理气相沉积、分子束外延和金属有机化学气相沉积等。其中,金属有机化学气相沉积是一种较为成熟的制备方法,具有制备高质量GaN2材料的优势。 3